真空值是在絕對壓強小于大氣壓強情況下其不足大氣壓強的數值。
真空度是指處于真空狀態下的氣體稀薄程度。從真空表所讀得的數值稱真空度,真空度數值是表示出系統壓強實際數值低于大氣壓強的數值。
真空度是指一個空間內氣體分子數的密度比標準狀態下少,濕度通常是指氣態水分子的多少。空氣中除了氮和氧以外,還有其他氣體,水分是其中之一,通常濕度越大真空度越小,濕度大抽真空就不容易。
決定真空度大小有兩個因素:一個是真空泵本身能達到的極限真空度和抽速,一個是整個系統的泄漏量。由于任何物質由固態或液態轉化為氣態都需要能量,所以氣溫越高,分子運動越活躍,越易將其抽出。