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非晶硅:又稱無定形硅。單質硅的一種形態。棕黑色或灰黑色的微晶體。硅不具有完整的金剛石晶胞,純度不高。熔點、密度和硬度也明顯低于晶體硅。化學性質比晶體硅活潑。可由活潑金屬在加熱下還原四鹵化硅,或用碳等還原劑還原二氧化硅制得。采用輝光放電氣相沉積法就得含氫的非晶硅薄膜。
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